探針臺的維護(hù)直接影響其測試精度與使用壽命，需結(jié)合日常清潔、環(huán)境控制、定期校準(zhǔn)等多維度操作，具體方法如下：

一、日常清潔與保養(yǎng)

1.?表面清潔?

l 使用無塵布或軟布擦拭探針臺表面，避免殘留清潔劑或硬物劃傷精密部件。

l 探針頭清潔需用非腐蝕性溶劑（如異丙醇）擦拭，檢查是否彎曲或損壞。

2.?光部件維護(hù)?

l 鏡頭、觀察窗等光學(xué)部件用鏡頭紙蘸取wu水jiu精從中心向外輕擦，操作時遠(yuǎn)離火源并保持通風(fēng)。

3.?內(nèi)部防塵?

l 使用后及時吹掃灰塵，防止污染物進(jìn)入機(jī)械滑軌、電學(xué)接觸面等精密結(jié)構(gòu)。

二、環(huán)境控制

1.?防震與溫濕度?

l 探針臺需置于防震平臺或減震墊上，避免環(huán)境震動干擾測試精度。

l 存放環(huán)境溫度保持在5-40℃、濕度40-85%，避免高溫、潮濕或陽光直射。

2.?靜電防護(hù)?

l 定期用抗靜電布或噴霧清理臺面，減少靜電積累對敏感器件的損害。

三、定期檢查與校準(zhǔn)

1.?機(jī)械部件檢查?

l 檢查滑軌、齒輪、微動裝置是否運行順暢，有無異常噪音或阻力，緊固件是否松動。

2.?電氣連接檢查?

l 驗證電纜、插頭、接觸點是否磨損或腐蝕，確保信號傳輸穩(wěn)定性。

3.?校準(zhǔn)操作?

l 按設(shè)備說明書要求定期校準(zhǔn)，校準(zhǔn)前需che底清潔探針臺并確保測試環(huán)境穩(wěn)定。

四、運輸與存放規(guī)范

1.?運輸保護(hù)?

l 使用專用包裝箱運輸，避免碰撞探針臺運動部件，運輸前拔除電源線。

2.?chang期存放?

l 切斷電源并拔除插頭，存放于防震工作臺，避免傾斜或橫倒。

五、特殊操作規(guī)范（真空探針臺）

1.?真空系統(tǒng)維護(hù)?

l 檢查真空泵與密封件狀態(tài)，使用硅油傳遞熱量時需定期檢查泄漏情況。

2.?操作后處理?

l 實驗結(jié)束后關(guān)閉設(shè)備并清潔表面，記錄關(guān)鍵參數(shù)（如真空度）變化趨勢。

六、**注意事項

l ?電源管理?：chang期不使用時拔除電源線，防止短路或電擊風(fēng)險。

l ?操作規(guī)范?：嚴(yán)格按照手冊設(shè)置參數(shù)，避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞或數(shù)據(jù)誤差。

通過上述維護(hù)措施，可顯著延長探針臺壽命（如平面電機(jī)定子防銹處理可提升步進(jìn)精度30%以上），并保障測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。